TSP PROCESS
공정명 제품명 특징
Developing MS-DE101 scum 생성이 방지된다
높은 수율 및 현상속도를 빠르게 하고 생산성 향상과 장비 Down time을 줄여준다.
Fine pitch 구현에도 탁월한 성능을 가진다.
용액의 분석 관리가 용이하다.
겨울철에도 동결되지 않는다.
Metal Etching MS-ME401
MS-ME405
ITO 층에 손상을 최소화하기 위한 황산염 계통의 약품이다.
엣칭력이 균일하며, 패턴 직진성이 우수하다.
엣칭 후 패턴에 금속 잔사가 남지 않는다.
용액의 분석을 통한 관리가 가능하다
ITO Etching MS-IE201
MS-IE203
Ag/Mo 층에 부식을 유발하지 않고, 균일한 엣칭력을 유지한다.
Fine pitch 형성에 적합하다.
Reel to Reel 공정에 적합하다.
용액의 분석을 통한 관리가 가능하다.
D/F Stripping MS-ST301
MS-ST330
MS-ST209
박리 반응속도가 빨라서 reel to reel 작업 공정에 적합하다.
박리된 드라이필름이 소재에 재 부착되는 것이 적다.
수절성이 좋고 세정이 잘 되어 제품 표면에 오염이 적다.
분석이 용이하여 용액 관리가 수월하다.