반도체 생산 공정이나 화학 산업에서 할로겐족 불화물 또는 염화 혼합물 환경에 노출되는 장치의 내식성을 향상시키는 목적으로 개발된 Process이다. MS-NWM으로 공급 되고 있으며 다양한 소재(스테인레스, 알루미늄, 인코넬 등과 같은 니켈합금)에 대응되도록 Full Process로 지원되고 있다.

노순흥 이사 / 010-7748-0994 / 19hero77@mschemical.co.kr

1. 장치에 사용되는 소재로는 STS, 알루미늄이나 인코넬 등과 같은 니켈 합금강이 있다.
이들 소재에 고 내식 MS-NWM을 처리하기 위해서는 적절한 하지도금과 전처리를 필요로 한다.
2. 알루미늄 소재의 경우 Zincate처리로서 아연치환도금이 필요하며 표면에 부착된 Smut층이 후공정에 영향을 미치지 않도록 관리되어야 한다.
3. 기타 부동태화된 니켈합금강은 적당한 활성화 처리가 필요하다.
4. MSC 고객지원팀에서는 이들 소재에 대한 전처리 방법과 유지관리와 관련된 Full Process를 지원하고 있다.